Development of Piezo-element Sensor for Touch Trigger Probe

A touch trigger probe sensor for coordinate measuring machines (CMM) detects a contact between a spherical stylus tip and an object to be measured. The conventional probes are not suitable for high speed measurement and high accuracy measurement of sub-micrometer order. A piezo-element novel sensor...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering 2000/02/05, Vol.66(2), pp.304-308
Hauptverfasser:	ISHIKAWA, Nobuhiro, HIDAKA, Kazuhiko, NISHIMURA, Kunitoshi
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Schlagworte:	CMM longitudinal wave piezo-element sensor touch trigger probe transverse wave
Online-Zugang:	Volltext
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