An Optimal Condition of Diamond Stylus by Ion Beam Machining

This paper describes a process to machine tip radius of diamond stylus as surface roughness measurement using ion sputter. The ion sputter machining produces a similar shape as the original stylus. It also controls the parameter using the current density, machining time, incidence angle of the ion b...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering 1993/11/05, Vol.59(11), pp.1847-1852
Hauptverfasser:	ROH, Byung-Ok, HAN, Eung Gyo, NAOMI, Sigeo
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Schlagworte:	diamond stylus ion sputter machining optimal condition surface roughness
Online-Zugang:	Volltext
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