i-Carbon Films Prepared by Ion Beam Sputter Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering 1987, Vol.53(10), pp.1519-1522
Hauptverfasser:	HIROCHI, Kumiko, KITABATAKE, Makoto
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Schlagworte:	cubic-diamond hexagonal-diamond i-carbon ion beam sputter deposition wear and friction behavior
Online-Zugang:	Volltext
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