40.4: Optimization of Light-Valve Mirrors

A mirror structure for reflective Si based light valves was fabricated using chemical mechanical polishing and a thin 150 nm Al(Cu)/Ti mirror to minimize hillock formation. The use of chemical‐mechanical polishing planarization resulted in only a 1% loss in reflectivity from topography under the mir...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	SID International Symposium Digest of technical papers 1998-05, Vol.29 (1), p.1071-1074
Hauptverfasser:	Colgan, E. G., Doany, F., Lu, M., Rosenbluth, A., Yang, K.-H., Uda, M., Shinohara, M., Tomooka, T., Tsukamoto, T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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