DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü
Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam numunel...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi 2019-04, Vol.22 (1), p.32-37 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | 37 |
|---|---|
| container_issue | 1 |
| container_start_page | 32 |
| container_title | Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi |
| container_volume | 22 |
| creator | AKIN SÖNMEZ, Nihan |
| description | Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi. |
| doi_str_mv | 10.17780/ksujes.489183 |
| format | Article |
| fullrecord | <record><control><sourceid>crossref</sourceid><recordid>TN_cdi_crossref_primary_10_17780_ksujes_489183</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>10_17780_ksujes_489183</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-LOGICAL-c793-c1515a42fff7a5f9d206997ef356660e9b0cf3ccca8f5988ee1317c397e4f7823</originalsourceid><addsrcrecordid>eNpNkDFOwzAYhS0EElXpyuwLpNhxHNtsUaEFqYgKdWGKXPO7MkkcZIeBE3AMrgALU7eUe1HRDkzv6enTGz6EzikZUyEkuaji6zPEcSYVlewIDSgjKqGC0-N__RSNYnQrkmWCk4zQAaquJvhOrz10ofV40W9i1W9C1wB-7L99B43DrgZcrPH20xvAU1c3NQTn8Qxq9_PRubBbILpL3L-31YFadLgIOql012i__fL4oa37zRk6sbqOMDrkEC2n18vJTTK_n91OinlihGKJoZxynaXWWqG5VU8pyZUSYBnP85yAWhFjmTFGS8uVlACUUWHYDsmskCkbovH-1oQ2xgC2fAmu0eGtpKT8k1XuZZV7WewXlXplHQ</addsrcrecordid><sourcetype>Aggregation Database</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>article</recordtype></control><display><type>article</type><title>DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü</title><source>EZB-FREE-00999 freely available EZB journals</source><creator>AKIN SÖNMEZ, Nihan</creator><creatorcontrib>AKIN SÖNMEZ, Nihan</creatorcontrib><description>Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.</description><identifier>ISSN: 1309-1751</identifier><identifier>EISSN: 1309-1751</identifier><identifier>DOI: 10.17780/ksujes.489183</identifier><language>eng</language><ispartof>Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi, 2019-04, Vol.22 (1), p.32-37</ispartof><lds50>peer_reviewed</lds50><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed><cites>FETCH-LOGICAL-c793-c1515a42fff7a5f9d206997ef356660e9b0cf3ccca8f5988ee1317c397e4f7823</cites><orcidid>0000-0002-2609-9657</orcidid></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><link.rule.ids>314,780,784,27924,27925</link.rule.ids></links><search><creatorcontrib>AKIN SÖNMEZ, Nihan</creatorcontrib><title>DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü</title><title>Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi</title><description>Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.</description><issn>1309-1751</issn><issn>1309-1751</issn><fulltext>true</fulltext><rsrctype>article</rsrctype><creationdate>2019</creationdate><recordtype>article</recordtype><recordid>eNpNkDFOwzAYhS0EElXpyuwLpNhxHNtsUaEFqYgKdWGKXPO7MkkcZIeBE3AMrgALU7eUe1HRDkzv6enTGz6EzikZUyEkuaji6zPEcSYVlewIDSgjKqGC0-N__RSNYnQrkmWCk4zQAaquJvhOrz10ofV40W9i1W9C1wB-7L99B43DrgZcrPH20xvAU1c3NQTn8Qxq9_PRubBbILpL3L-31YFadLgIOql012i__fL4oa37zRk6sbqOMDrkEC2n18vJTTK_n91OinlihGKJoZxynaXWWqG5VU8pyZUSYBnP85yAWhFjmTFGS8uVlACUUWHYDsmskCkbovH-1oQ2xgC2fAmu0eGtpKT8k1XuZZV7WewXlXplHQ</recordid><startdate>20190405</startdate><enddate>20190405</enddate><creator>AKIN SÖNMEZ, Nihan</creator><scope>AAYXX</scope><scope>CITATION</scope><orcidid>https://orcid.org/0000-0002-2609-9657</orcidid></search><sort><creationdate>20190405</creationdate><title>DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü</title><author>AKIN SÖNMEZ, Nihan</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-LOGICAL-c793-c1515a42fff7a5f9d206997ef356660e9b0cf3ccca8f5988ee1317c397e4f7823</frbrgroupid><rsrctype>articles</rsrctype><prefilter>articles</prefilter><language>eng</language><creationdate>2019</creationdate><toplevel>peer_reviewed</toplevel><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>AKIN SÖNMEZ, Nihan</creatorcontrib><collection>CrossRef</collection><jtitle>Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi</jtitle></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext</fulltext></delivery><addata><au>AKIN SÖNMEZ, Nihan</au><format>journal</format><genre>article</genre><ristype>JOUR</ristype><atitle>DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü</atitle><jtitle>Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi</jtitle><date>2019-04-05</date><risdate>2019</risdate><volume>22</volume><issue>1</issue><spage>32</spage><epage>37</epage><pages>32-37</pages><issn>1309-1751</issn><eissn>1309-1751</eissn><abstract>Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı
sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam
yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile
çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam
numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik
yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey
direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02
ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile
diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere
sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini
artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.</abstract><doi>10.17780/ksujes.489183</doi><tpages>6</tpages><orcidid>https://orcid.org/0000-0002-2609-9657</orcidid><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext |
| identifier | ISSN: 1309-1751 |
| ispartof | Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi, 2019-04, Vol.22 (1), p.32-37 |
| issn | 1309-1751 1309-1751 |
| language | eng |
| recordid | cdi_crossref_primary_10_17780_ksujes_489183 |
| source | EZB-FREE-00999 freely available EZB journals |
| title | DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-25T18%3A07%3A51IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-crossref&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=DC%20Magnetron%20P%C3%BCsk%C3%BCrtme%20Y%C3%B6ntemi%20ile%20Ag%20%C4%B0nce%20Filmlerin%20Geli%C5%9Ftirilmesi:%20%C3%87ok%20%C4%B0nce%20Pt%20Ara-katman%C4%B1n%20Rol%C3%BC&rft.jtitle=Kahramanmara%C5%9F%20S%C3%BCt%C3%A7%C3%BC%20%C4%B0mam%20%C3%9Cniversitesi%20M%C3%BChendislik%20Bilimleri%20Dergisi&rft.au=AKIN%20S%C3%96NMEZ,%20Nihan&rft.date=2019-04-05&rft.volume=22&rft.issue=1&rft.spage=32&rft.epage=37&rft.pages=32-37&rft.issn=1309-1751&rft.eissn=1309-1751&rft_id=info:doi/10.17780/ksujes.489183&rft_dat=%3Ccrossref%3E10_17780_ksujes_489183%3C/crossref%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |