New buffer sublayers with crystal structure of cubic syngony for growing the heteroepitaxial films of nitride compounds of type A III B V on sapphire substrates
We propose the use of a buffer sublayer made of materials with crystal structure of cubic syngony to eliminate 30° in-plane rotation of (0001) heteroepitaxial wurtzite type A III B V nitride films with respect to the (0001) or (11 0) working surface of the sapphire substrate. In these cases, the lat...
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Veröffentlicht in: | MRS Internet journal of nitride semiconductor research 1999, Vol.4 (1), Article e13 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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