Novel 3D SEM Moiré method for micro height measurement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Optics express 2013-07, Vol.21 (13), p.15734
Hauptverfasser:	Li, Chuanwei, Liu, Zhanwei, Xie, Huimin, Wu, Dan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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