Axial nanodisplacement measurement based on astigmatism effect of crossed cylindrical lenses

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied optics (2004) 2012-05, Vol.51 (13), p.2379
Hauptverfasser:	Li, Long, Kuang, Cuifang, Luo, Ding, Liu, Xu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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