$Electron Microscope Method for Measuring Diffraction Grating Groove Geometry$

Electron Microscope Method for Measuring Diffraction Grating Groove Geometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Optics 1965-01, Vol.4 (8), p.999
Hauptverfasser:	Anderson, W. A., Griffin, G. L., Mooney, C. F., Wiley, R. S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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