Defect Structure of Nitrogen Doped Czochralski Silicon Annealed under Enhanced Pressure
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Veröffentlicht in: | Acta physica Polonica, A A, 2010-02, Vol.117 (2), p.344-347 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0587-4246 1898-794X |
DOI: | 10.12693/APhysPolA.117.344 |