(Invited, Digital Presentation) Ion Implantation for Amorphous-InGaZnO Sheet Resistance Control Technique

Amorphous indium-gallium-zinc oxide (a-IGZO) attracts much attention for next-generation flat-panel displays due to the large band gap, visible light transparency, printability, thickness-uniformity and low-temperature in film deposition. Using a-IGZO films, thin-film-transistors (TFTs) are realized...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2022-10, Vol.MA2022-02 (35), p.1276-1276
Hauptverfasser:	Ui, Toshimasa, Yasuta, Keisuke, Yamane, Yuya, Tatemichi, Junichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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