Communication—Selective Adsorption of PEG on SiO 2 for High Removal Selectivity in Tungsten CMP

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2018, Vol.7 (3), p.P132-P134
Hauptverfasser:	Kim, Kijung, Lee, Kangchun, So, Sounghyun, Cho, Sungwook, Lee, Myeongjae, You, Keungtae, Moon, Jinok, Song, Taeseup
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!