Communication—Selective Adsorption of PEG on SiO 2 for High Removal Selectivity in Tungsten CMP

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2018, Vol.7 (3), p.P132-P134
Hauptverfasser:	Kim, Kijung, Lee, Kangchun, So, Sounghyun, Cho, Sungwook, Lee, Myeongjae, You, Keungtae, Moon, Jinok, Song, Taeseup
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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