Measurement of Microscale Shear Forces during Chemical Mechanical Planarization

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (10), p.H1041
Hauptverfasser:	White, Robert D., Mueller, Andrew J., Shin, Minchul, Gauthier, Douglas, Manno, Vincent P., Rogers, Chris B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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