Effect of Deposition Conditions and Crystallinity of Substrate on Phase Transition of Hydrogenated Si Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (7), p.D430
Hauptverfasser:	Kim, Jun Kwan, Yun, Sun Jin, Lim, Jung Wook, Lee, Seong Hyun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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