Conformal Properties of InSbTe Thin Films Grown at a Low Temperature by MOCVD for PRAM Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2010, Vol.157 (6), p.D353
Hauptverfasser:	Ahn, Jun-Ku, Cho, Hyun-Jin, Park, Kyoung-Woo, Yoon, Soon-Gil
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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