Preparation of Fluorine Doped Zinc Tin Oxide Coating Layer on SUS 316 Bipolar Plates by ECR-MOCVD for PEMFC

Fluorine-doped zinc tin oxide (ZnSnOx:F) films on SUS316 are prepared by electron cyclotron resonance-metal organic chemical vapor deposition (ECR-MOCVD) in order to achieve the corrosion-resistant and low contact resistance bipolar plates for polymer electrolyte membrane (PEM) fuel cells. The prepa...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lee, Joong-Kee, Park, Ji Hun, Chang, Wonyoung, Byun, Dongjin
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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