Effects on Silanol Condensation during Low Temperature Silicon Fusion Bonding

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2009, Vol.156 (10), p.H786
Hauptverfasser:	Eichler, M., Michel, B., Hennecke, P., Klages, C.-P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!