Dual-Metal-Gate Work Function by Controlling Metal Gate Thickness and Composition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Electrochemical and solid-state letters 2008, Vol.11 (5), p.H124
Hauptverfasser:	Hasan, Musarrat, Park, Hokyong, Lee, Joon-Myoung, Hwang, Hyunsang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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