Effect of UV Pretreatment on the Nanopore Formation within Organosilicate Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2007, Vol.154 (8), p.G171
Hauptverfasser:	Kim, Suhan, Lyu, Yi-Yeol, Hahn, Junhee, Char, Kookheon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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