Lateral growth process of GaAs over tungsten gratings by metalorganic chemical vapor deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1985-10, Vol.132 (10), p.2445-2453
Hauptverfasser:	ASAI, H, ANDO, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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