Etching profiles at resist edges. I: Mathematical models for diffusion-controlled cases

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1986-06, Vol.133 (6), p.1217-1226
Hauptverfasser:	KUIKEN, H. K, KELLY, J. J, NOTTEN, P. H. L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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