PtSi-induced junction leakage

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1989-07, Vol.136 (7), p.2063-2067
Hauptverfasser:	GAMBINO, J. P, MONKOWSKI, M. D, TSANG, P. J, SHEPARD, J. F, RANSOM, C. M, WONG, C. Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Interfaces Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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