Measuring the thickness of oxide on polysilicon using ultraviolet ellipsometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1992-06, Vol.139 (6), p.1772-1777
Hauptverfasser:	TOMPKINS, H. G, VASQUEZ, B, MATHIS, T, YETTER, G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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