The effect of ultraviolet irradiation on the minority carrier recombination lifetime of oxidized silicon wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1997-05, Vol.144 (5), p.L103-L105
Hauptverfasser:	LEE, W. P, KHONG, Y. L, MUHAMAD RASAT MUHAMAD, TOU, T. Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Testing, measurement, noise and reliability
Online-Zugang:	Volltext
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