Characterization of GaAs(110) Nitrided by an Electron-Cyclotron Resonance Plasma Source Using N[sub 2]

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2000, Vol.147 (2), p.731
Hauptverfasser:	Landheer, D., Rajesh, K., Hulse, J. E., Sproule, G. I., McCaffrey, J., Quance, T., Graham, M. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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