Atomic Layer Deposition of AlO[sub x] for Thin Film Head Gap Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2001, Vol.148 (9), p.G465
Hauptverfasser:	Paranjpe, Ajit, Gopinath, Sanjay, Omstead, Tom, Bubber, Randhir
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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