Adsorption Processes during Electrochemical Atomic Layer Deposition of Gold

Electrochemical atomic layer deposition (e-ALD) technique offers a simple and effective "wet chemistry" approach enabling high-precision monolayer-by-monolayer deposition of metal films. The process of e-ALD of Au involves lead underpotential deposition (PbUPD) followed by its redox replac...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2021-11, Vol.168 (11), p.112505
Hauptverfasser:	Wasalathanthri, Ruwani N., Gong, Yukun, Biener, Monika M., Ivanovskaya, Anna N., Dudukovic, Nikola A., Akolkar, Rohan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	MATERIALS SCIENCE
Online-Zugang:	Volltext
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