Layer Configurations for Al-Ge Eutectic Wafer Bonding

Different layer configurations for Al-Ge eutectic bonding are investigated using SAM and X-SEM. These configurations are single layer Al and Ge, double layer layer Al on top of Ge, or double layer Ge on top of Al. The Ge on top of Al configuration leads to the best SAM results. The effect of native...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS transactions 2020-09, Vol.98 (4), p.217-221
Hauptverfasser:	Visker, Jakob, Peng, Lan, Kang, Shuo, Vereecke, Bart, Haspeslagh, Luc
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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