Application of Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide mode for Post-Chemical-Mechanical-Planarization Cleaning

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-07, Vol.48 (7), p.7
Hauptverfasser:	Suzuki, Kazunari, Han, Ki, Okano, Shoichi, Soejima, Jyunichiro, Koike, Yoshikazu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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