Transmission-Electron-Microscopy Observation of Pt Pillar Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
Hauptverfasser:	Murakami, Katsuhisa, Matsubara, Naoki, Ichikawa, Satoshi, Kisa, Toshiya, Nakayama, Takahito, Takamoto, Kunio, Wakaya, Fujio, Takai, Mikio, Petersen, Silke, Amon, Brigitte, Ryssel, Heiner
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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