Young's Modulus Enhancement of Mesoporous Pure-Silica–Zeolite Low-Dielectric-Constant Films by Ultraviolet and Silylation Treatments

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-05, Vol.48 (5R), p.50210
Hauptverfasser:	Yoshino, Takenobu, Ohnuki, Nobuyoshi, Hata, Nobuhiro, Seino, Yutaka
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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