Pseudo-Single-Nucleus Lateral Crystallization of Si Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2008-03, Vol.47 (3S), p.1862
Hauptverfasser: Endo, Takahiko, Taniguchi, Yukio, Katou, Tomoya, Shimoto, Shigeyuki, Ohno, Takashi, Azuma, Kazufumi, Matsumura, Masakiyo
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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