Strain State and Thermal Stability of Strained-Si-on-Insulator Substrates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-11, Vol.46 (11R), p.7294
Hauptverfasser:	Hoshi, Yusuke, Fukumoto, Atsushi, Sawano, Kentarou, Cayrefourcq, Ian, Yoshimi, Makoto, Shiraki, Yasuhiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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