Improvement of Permeation of Solvent-Free Multilayer Encapsulation of Thin Films on Poly(ethylene terephthalate)

In this study, inorganic multilayer thin-film encapsulation is adopted for the first time to protect an organic layer from moisture and oxygen. Inorganic multilayer thin-film encapsulation is deposited onto poly(ethylene terephthalate) (PET) using an electron beam and sputtering. The SiON/SiO 2 and...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-12, Vol.45 (12R), p.9203
Hauptverfasser:	Han, Jin-Woo, Kang, Hee-Jin, Kim, Jong-Yeon, Kim, Gwi-Yeol, Seo, Dae-Shik
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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