Micromachined Silicon Submount for Optical Communication Devices

In this paper, we report the development of a new surface mount structure for optical communication devices using micro-electro-mechanical system (MEMS) technologies. We have designed and fabricated a silicon submount by wet anisotropic micromachining techniques. We have surveyed the main design par...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-12, Vol.45 (12R), p.9088, Article 9088
Hauptverfasser:	Ishii, Yorishige, Matsuo, Toshihisa, Fujita, Hideaki, Iwaki, Tetsuo, Sekimoto, Yoshihiro, Kurata, Yukio
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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