Pulsed-Laser Deposition of LiNbO 3 Thin Films at Low Oxidation Gas Pressure with Pure Ozone
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2003-09, Vol.42 (Part 2, No.9A/B), p.L1066-L1068 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 |
DOI: | 10.1143/JJAP.42.L1066 |