Pulsed-Laser Deposition of LiNbO 3 Thin Films at Low Oxidation Gas Pressure with Pure Ozone

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2003-09, Vol.42 (Part 2, No.9A/B), p.L1066-L1068
Hauptverfasser: Higuchi, Sadao, Tsukada, Ichiro
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
DOI:10.1143/JJAP.42.L1066