Investigation of the General Design Principle of a Single Lens and the Development of a New NA=0.85 Single Lens

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 2B), p.875-879
Hauptverfasser: Itonaga, Makoto, Ito, Fumihiko, Tanaka, Eiji, Tomita, Takahiro
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.42.875