Simulation Analysis and Experimental Verification of UV-LIGA Process for High-Aspect-Ratio Ni–Fe Micro-Mold Insert

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003-10, Vol.42 (Part 1, No. 10), p.6683-6690
Hauptverfasser:	Yeh, Yih-Min, Tu, George-Chia, Fu, Ming-Nan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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