Nitrogen Effusion and Self-Diffusion in Ga 14 N/Ga 15 N Isotope Heterostructures

Ga 14 N/Ga 15 N/Ga 14 N isotope heterostructures are used to study nitrogen self-diffusion by secondary-ion mass spectrometry and thermally activated decomposition. After interdiffusion of Ga 14 N and Ga 15 N layers at temperatures between 770°C and 970°C the diffusion profiles are measured. The iso...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1998-05, Vol.37 (5R), p.2416
Hauptverfasser:	Ambacher, Oliver, Freudenberg, Frank, Dimitrov, Roman, Angerer, Helmut, Stutzmann, Martin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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