Theoretical model for describing degradation of thin hydrogen-containing films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technical physics 1997-08, Vol.42 (8), p.950-955
Hauptverfasser: Gadiyak, G. V., Gadiyak, V. G., Kosinova, M. L., Sal’man, E. G.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-7842
1090-6525
DOI:10.1134/1.1258760