Nickel on glass acoustic microsystems

An electroplated nickel-on-glass surface micromachining process has been developed and applied to fabricate condenser MEMS microphone arrays and ultrasound arrays. The major advantage of these arrays over polysilicon surface micromachined sensors is the significant reduction in stray capacitance tha...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2011-10, Vol.130 (4_Supplement), p.2425-2425
Hauptverfasser:	White, Robert D., Zhao, Zhengxin, Shin, Minchul, Krause, Joshua S., Liu, Shuangqin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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