Micromachined reconfigurable microphone array for wind tunnel testing

A surface micromachined, front-vented, 64 channel (8×8), capacitively sensed microphone array-on-a-chip devices for aeroacoustic testing is described. The arrays are fabricated using the MEMSCAP PolyMUMPs polysilicon surface micromachining process, with a Parylene-C passivation layer. The devices ar...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2011-04, Vol.129 (4_Supplement), p.2674-2674
Hauptverfasser:	Krause, Joshua S., Bright, Alfram V., Moeller, Mark J., Gallman, Judith M., White, Robert D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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