Fabrication of a self-aligned microtip field emission array

In this work we describe the development of a process to fabricate a self-gated cold cathode microtip emitter array from laser crystallized silicon using mature large area techniques and materials familiar to the microelectronics industry. A scanning electron microscopy study demonstrates the evolut...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2003-07, Vol.21 (4), p.1560-1565
Hauptverfasser:	Forrest, R. D., Cox, D. C., Tang, Y. F., Shannon, J. M., Silva, S. R. P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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