Biased Atmospheric, Sub-Atmospheric, and Low-Pressure Air Plasmas for Material Surface Improvements
This paper deals with some important aspects of recent research related to atmospheric, sub-atmospheric (SA), and low-pressure plasmas. It calls attention to the definition of the pressure ranges in which they are divided to avoid misconceptions in the literature. Pulsed bias applied to elements ins...
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on plasma science 2011-10, Vol.39 (10), p.1998-2005 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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