Controllable Coercive Field of Ferroelectric HfO 2 Films via UV-Ozone Surface Modification

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 2022-06, Vol.69 (6), p.3094-3099
Hauptverfasser:	Zhang, Yan, Wang, Dao, Luo, Chunlai, Cheng, Jiayun, Huo, Siying, Zhang, Beijing, Tao, Ruiqiang, Chen, Deyang, Fan, Zhen, Dai, Ji-Yan, Lu, Xubing, Liu, J.-M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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