Evaluation of a Surface-Channel CCD Manufactured in a Pinned Active-Pixel-Sensor CMOS Process

This paper presents measurements on a surface-channel charge-coupled device (CCD) with gates implemented using single-layer poly-silicon gates. The device was manufactured in a 0.18-μm pinned photodiode CMOS process available commercially from the United Microelectronics Corporation. The CCD was bui...

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Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2011-08, Vol.58 (8), p.2660-2664
Hauptverfasser: Borg, J., Johansson, J.
Format: Artikel
Sprache:eng
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