Electromechanical Equivalent Circuit Model for Axisymmetric PMUTs With Elastic Boundary Conditions

Here we present an electromechanical lumped equivalent circuit model for the purpose of deriving the electrical input impedance and response of air-coupled axisymmetric polymer-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUT). In particular, this study presents the derivation and vali...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of microelectromechanical systems 2022-06, Vol.31 (3), p.457-472
Hauptverfasser: Chare, Christopher, Gijsenbergh, Pieter, Jeong, Yongbin, Heremans, Paul, Cheyns, David, Genoe, Jan
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!