Electromechanical Equivalent Circuit Model for Axisymmetric PMUTs With Elastic Boundary Conditions
Here we present an electromechanical lumped equivalent circuit model for the purpose of deriving the electrical input impedance and response of air-coupled axisymmetric polymer-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUT). In particular, this study presents the derivation and vali...
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Veröffentlicht in: | Journal of microelectromechanical systems 2022-06, Vol.31 (3), p.457-472 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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