Mitigating Thermoelastic Dissipation of Flexural Micromechanical Resonators by Decoupling Resonant Frequency from Thermal Relaxation Rate

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physical review applied 2017-12, Vol.8 (6), Article 064033
Hauptverfasser:	Zhou, Xin, Xiao, Dingbang, Wu, Xuezhong, Li, Qingsong, Hou, Zhanqiang, He, Kaixuan, Wu, Yulie
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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