$Diffraction grating parameter retrieval using non-paraxial structured beams in coherent Fourier scatterometry$

Diffraction grating parameter retrieval using non-paraxial structured beams in coherent Fourier scatterometry

In recent years, a lot of works have been published that use parameter retrieval using orbital angular momentum (OAM) beams. Most make use of the OAM of different Laguerre-Gauss modes. However, those specific optical beams are paraxial beams and this limits the regime in which they can be used. In t...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of optics (2010) 2022-03, Vol.24 (3), p.34006
Hauptverfasser:	Soman, S, Pereira, S F, Gawhary, O El
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	coherent Fourier scatterometry optical metrology scatterometry structured beam
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!